硅晶片清洗表面活性劑添加量的判定方法

　　在生產和處理硅晶圓時，盤必須絕對潔凈。因此，晶圓的表面處理工藝造成的污染必須要在清潔工序之后去除。為了滿足這些高的清潔度要求，清洗劑的濃度一定要保持在適當的濃度范圍之內。

　　成功的清潔工藝有兩個條件：

　　1. 為了達成所需的清潔效果，清潔劑的濃度需要在規定范圍內。

　　2. 在最后的漂洗過程后，須避免表面活性劑在硅晶圓上殘留。殘留的表面活性劑對后面的處理工藝會造成不利影響。

　　基于實驗數據，由于疏于監控清潔和漂洗工序中表面活性劑的濃度，表面活性劑經常過量。為了消除表面活性劑過量帶來的不利影響，往往要費時費力地增加漂洗工序。

　　動態表面張力的測量，確保了在特定生產步驟中，表面活性劑濃度的監測并達到最佳濃度。SITA動態表面張力儀可以精確控制表面活性劑濃度，使表面張力接近最佳值，此手段可節省大量的表面活性劑，從而去掉多余出的漂洗工序。不僅如此，在最后一道或者倒數第二道漂洗過程中，對殘留表面活性劑濃度的測試也可預判清洗質量。

　　測量不同表面活性劑濃度的清潔劑

　　用氣泡壓力表面張力儀測動態表面張力也能幫助我們選擇合適的清潔劑，而高活性、低表面張力的表面活性劑一般能達到更好的清潔效果。

　　至于監控、清洗和漂洗過程，我們推薦您使用便攜式表面張力儀SITA DynoTester來進行隨機測量，而SITA ST在線表面張力儀可進行自動和可靠的過程監控。SITA ST測量清洗池中瞬時表面張力值，然后通過自動計算表面活性劑的消耗量來自動監測并添加，控制表面活性劑的濃度在合理范圍。它可實現定時測量指定清洗池的表面張力并自動判斷測量值是否在合理范圍。

　　SITA clean line ST表面張力儀

　　SITA DynoTester+表面張力儀