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            半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓切割工藝中液體質(zhì)量的監(jiān)測(cè)

            • 2015/9/1
            • 2964 Views

              當(dāng)切割晶片時(shí),一種特殊的處理液會(huì)用于冷卻工作時(shí)的的鋸片,來潤(rùn)滑和移除產(chǎn)生的顆粒。為了讓鋸片和研磨盤的潤(rùn)濕達(dá)到最優(yōu)狀態(tài),在處理液中要必須加入表面活性劑。目前為止,在監(jiān)測(cè)表面活性劑濃度時(shí)出現(xiàn)了很多問題。處理液的樣品如果送到外面的實(shí)驗(yàn)室,會(huì)產(chǎn)生高的成本,而且得到測(cè)量結(jié)果和從實(shí)驗(yàn)室拿到這個(gè)結(jié)果也會(huì)有時(shí)差。所以,快速的表面活性劑濃度的矯正無法達(dá)成。SITA測(cè)量技術(shù)有限公司的創(chuàng)新性氣泡壓力法表面張力儀會(huì)在每一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域幫助您找到優(yōu)化的解決方法。所有的表面張力儀可以讓動(dòng)態(tài)表面張力的測(cè)量簡(jiǎn)單并快速,量化數(shù)據(jù)呈現(xiàn)液體的表面活性劑濃度。SITA表面張力儀可以在短短幾秒鐘完成測(cè)量,所以我們可以將實(shí)際值和期望值迅速的作比較。這樣在產(chǎn)生偏差的情況下,可以及時(shí)的找到解決方法。

              在此應(yīng)用領(lǐng)域中,SITA t15和過程監(jiān)控系統(tǒng)SITA ST是最合適的測(cè)量?jī)x器。SITA t15的體積小,輕便,但卻是很精確的,可與實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的測(cè)量精度相媲美的手持式表面張力儀,因此可以輕易和快速的進(jìn)行隨機(jī)測(cè)試來獲得適當(dāng)?shù)挠跇O限值對(duì)比的測(cè)試結(jié)果。

            動(dòng)態(tài)表面張力和表面活性劑濃度的關(guān)系

              動(dòng)態(tài)表面張力和表面活性劑濃度的關(guān)系

              內(nèi)部存儲(chǔ)設(shè)置可以儲(chǔ)存多達(dá)25個(gè)測(cè)量結(jié)果。集成的USB端口可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X上,電腦也可以作為一個(gè)外接電源。運(yùn)行時(shí)間可達(dá)十小時(shí)的充電電池也能通過USB端口充電。SITA t15非常人性化,所以操作此儀器不需要任何專業(yè)知識(shí)。測(cè)量?jī)x器的所有功能可以直觀的從按鍵上看出來。對(duì)于某些應(yīng)用,抽檢表面活性劑濃度值的隨機(jī)測(cè)驗(yàn)結(jié)果是不夠的,這時(shí)在線表面張力監(jiān)控系統(tǒng)SITAST為用戶的需求提供個(gè)體化的解決方案。系統(tǒng)定期的集中測(cè)量晶圓切割時(shí)處理液的表面張力并自動(dòng)地將其與所需值作比較。一旦獲得低于或超出規(guī)定值的測(cè)量結(jié)果,機(jī)器就會(huì)發(fā)出警告信號(hào)。因此,當(dāng)溶液濃度不再符合理想濃度時(shí),我們能在短時(shí)間內(nèi)做出反應(yīng)。不僅如此,我們不再需要專門監(jiān)控處理液質(zhì)量的員工。

            SITA ST在線式表面張力儀

            SITAST在線表面張力儀

              用SITA測(cè)量科技有限公司的表面張力儀使表面活性劑的濃度的監(jiān)測(cè)更加可靠,也可以為了在切割性能和提高晶圓輸出量實(shí)現(xiàn)積極的效果。另外,也可以避免表面活性劑的過量使用,節(jié)省成本。

            t15表面張力儀

            t15表面張力儀

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